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ASM 390
Diese Animation zeigt, wie ein Leck in einer Vakuumkammer erkannt werden kann. Eine Pistole wird verwendet, um Helium in bestimmte Teile der Kammer zu injizieren. Das eingespritzte Helium vermischt sich mit dem Wasserstoff und Stickstoff, die aus der Kammer gepumpt werden. Alle Gase werden nun im Massenspektrum durch Elektronenbeschuss ionisiert.
Schnelle Abpumpzeiten, hohe Empfindlichkeit, genaue Ergebnisse und minimale Erkennungszeit: Die ASM 390 und ASM 392 sind die perfekte Lösung für die Halbleiter- und Displayindustrie sowie für andere anspruchsvolle Anwendungen. Eine reibungslose Vorpumpe, eine leistungsstarke Hochvakuumpumpe — sie sind ideal für Dichtheitsprüfungen in sauberen Umgebungen!